Tagungsbeitrag

Titel Temperature dependence of point contact friction on silicon
Autor André Schirmeisen, Lars Jansen, Hendrik Hölscher, Harald Fuchs
Infos zum Autor Dr. Hendrik Hölscher
nanoForce group
Center for NanoTechnology (CeNTech)
Westfälische Wilhelms-Universität Münster
Heisenbergstr. 11
48149 Münster
Tel. 0251 / 83 - 63832
FAX 0251 / 83 - 63873
Email: Hendrik.Hoelscher@uni-muenster.de
Inhalt Zusammenfassung

Die Punktkontakt-Reibung und -Adhäsion zwischen einer Silizium-Spitze und einem unbehandelten Silizium( 111)-Wafer wurde als Funktion der Temperatur im Ultrahochvakuum mit einem Reibungskraftmikroskop gemessen. Während sich der Reibungskoeffizient im Temperaturbereich zwischen 50 K und Raumtemperatur drastisch verändert und ein Maximum bei 100 K hat, zeigt die gleichzeitig gemessene Adhäsion fast keine Temperaturabhängigkeit. Interessanterweise zeigt die Geschwindigkeitsabhängigkeit der Reibung einen logarithmischen Anstieg für Temperaturen unterhalb 150 K während sie bei Temperaturen oberhalb von 150 K nahezu konstant ist. Dieses spezielle Verhalten hat weitreichende Konsequenzen für die Reibungseigenschaften von Bauteilen die aus Silizium gefertigt werden.

Abstract

Point contact friction and adhesion between a silicon tip and an untreated Silicon(111) wafer are measured as a function of sample temperature in ultrahigh vacuum by friction force microscopy. While the friction coefficient changes drastically in the temperature range from 50 K to room temperature and shows a reproducible maximum near 100 K the simultaneously recorded adhesion shows much less temperature dependence. Interestingly, the velocity dependence of friction shows a logarithmic increase below 150 K although it is nearly constant above 150 K. This peculiar behaviour has profound consequences for tribological properties of devices manufactured from silicon.
Datum 2006