| Titel | Verschleißarme Hartstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Bedampfung mit Raten von 100 nm/s |
| Autor | J.-P. Heinß, Ch. Metzner |
| Infos zum Autor | Dr. Jens-Peter Heinß, Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl und Plasmatechnik, Winterbergstraße 28, 01277 Dresden, Tel.: 0351/2586-244, Fax: 0351/2586-55-244, E-Mail: jens-peter.heinss@fep.fraunhofer.de Dr. Christoph Metzner, Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Winterbergstraße 28, 01277 Dresden, Tel.: 0351/2586-240, Fax: 0351/2586-55-240, E-Mail: christoph.metzner@fep.fraunhofer.de |
| Inhalt | Kohlenstoffbasierte metallhaltige Hartstoffschichten mit Dicken bis zu 3 µm und Raten von 100 nm/s wurden mit der plasmaaktivierten Elektronenstrahlverdampfung abgeschieden. Die Ergebnisse der analytischen Untersuchungen der Schichteigenschaften werden vorgestellt. Carbon based, metal containing hard coatings with thicknesses up to 3 µm were deposited with rates of 100 nm/s by using the plasma activated electron beam evaporation. The results of the analytical investigations of the layer properties are presented. |
| Datum | 2005 |
